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超硬材料制品

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  • 详细参数
  • 生产企业及联系方式
CMP抛光液

 

    针对 LED 蓝宝石衬底精研磨工序使用的金刚石研磨液,在研磨过程中磨料颗粒采用单颗粒多点研磨,不仅保证了持续高效的研磨效果,同时,精密分级后的磨料金刚石不含异常大颗粒且整体分散均匀,也保障了不会对加工件表面造成损伤。

    内部磨料微观分布
◆ 使用工艺参数参考:

1、设备机台:国内外各种单面研磨机;
2、加压方式:气动或载重加压;
3、配套研磨盘:铜盘,锡盘;
4、研磨盘转速:40-60rpm
5、衬底片承压:0.3-0.4kg/cm2
6、加液方式:间隔喷洒或者滴加
7、使用效果:仅供参考,可根据具体设备及工艺调配合适产品。

规格型号

制作工艺

设备参考

MRR(μm/min)

实现粗糙度Ra(nm)

PC-6

外延背面减薄

NTS/WEC/SHUWA

2.0~3.0

≤30

PC-3

基片正面MDP

Speedfam/Kemet/AM

0.8~1.2

≤15


    ◆ ZZSM 产品优势
1、产品特性:我公司的研磨液产品,磨料分散更均匀,悬浮性更强,放置后不会出现磨料沉积底部,难以晃匀的现象,保证研磨过程更均匀;
2、产品稳定性:产品的原材料、生产过程和发货前经过7 道检验,研究所规范化的操作模式保证产品品质一致性;
3、产品经营:公司自己的生产车间,免去其他中间商供货的步骤,可以随时跟踪和监控产品生产及使用过程,工程师可随时现场服务;
4、公司资质:我所是全国唯一的国家级磨料磨具行业研发中心,产品开发和销售

 

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